Metal-assisted electroless etching of silicon in aqueous NH 4HF 2 solution

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Veuillez utiliser cette adresse pour citer ce document : http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080/handle/123456789/1722

Titre:	Metal-assisted electroless etching of silicon in aqueous NH 4HF 2 solution
Auteur(s):	Brahiti, Naima Bouanik, Sihem-Aissiou Toufik Hadjersi, Toufik
Mots-clés:	Silicon nanostructures Silicon nanowires Metal-assisted electroless etching Catalyst Chemical deposition Electroless Electroless chemical etching Etching parameters Etching process Etching solutions Etching temperature New solutions P-type silicon Silicon surfaces Silicon substrates
Date de publication:	2012
Editeur:	Elsevier
Collection/Numéro:	Applied Surface Science/ Vol. 258, N°15 (2012);pp. 5628-5637
URI/URL:	http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080123456789/1722
ISSN:	01694332
Collection(s) :	Publications Internationales

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