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http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080/handle/123456789/3701
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Titre: | Elaboration de couches minces d’alumine par ablation laser et leurs caractérisations |
Auteur(s): | Kheloui, Meriem |
Mots-clés: | Ablation laser Couche mince d’alumine Nanoindentation Electrochimie |
Date de publication: | 2016 |
Résumé: | Le travail présenté dans ce mémoire porte sur l'élaboration de couches minces
d'oxyde d’aluminium (Al2O3) par la technique d'ablation laser appelée PLD "Pulsed
Laser Deposition". Ces couches ont été synthétisées sur différents substrats le silicium
(100), le verre Corning et l'acier 304 L, sous vide et pour des pressions d'oxygène
allant de 0.01 à 0.03 mbar d'O2.
La technique PLD consiste à focaliser un faisceau laser sur une cible placée à 45 °
du faisceau laser et en rotation. Le système cible-substrat est placé dans une enceinte
à vide, pompée à des pressions allant jusqu'à 10-5 mbar. Sous l'effet de l'interaction
du laser avec la cible, de la matière est ablatée et un plasma est formé lorsque la
densité de puissance laser dépasse la valeur seuil de formation du plasma. Ce dernier
va se détendre pour former une couche mince sur un substrat placée face à la cible.
Différentes caractérisations aussi bien structurale, morphologique , mécanique
optique ou chimique ont été faites sur ces couches d'alumine.
Les résultats obtenus ont montré que pour l'analyse structurale par DRX, les
couches étaient amorphes. Pour l'analyse morphologique par MEB, que la
morphologie dépend des conditions expérimentales autrement dit de la pression
d'oxygène.. Toutes les couches montraient l'apparition de particules sur leur surface
avec une morphologie différente pour la couche à 0.03 mbar d'O2 qui semble être
granulaire.
Les mesures optiques par spectrophotométrie UV-Visible ont données des valeurs
du gap allant de 3.64 à 4.16 eV suivant la pression d'oxygène. Ces couches sont
transparentes du proche UV à l'infra rouge.
Les tests mécaniques par nanoindentation ont donné une valeur optimum à 0.01
mbar d' O2 avec une nano-dureté de 13.25 GPa et un module d'Young de 165.61 GPa.
L’étude électrochimique a apporté une meilleure protection pour la couche élaborée à
0.02 mbar d'oxygène. |
Description: | 47 p. : ill. ; 30 cm |
URI/URL: | http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080/handle/123456789/3701 |
Collection(s) : | Chimie et environnement
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