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Veuillez utiliser cette adresse pour citer ce document : http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080/handle/123456789/4575

Titre: Hydrogenated amorphous silicon nitride deposited by DC magnetron sputtering
Auteur(s): Mokeddem, Kamel
Aoucher, M.
Smail, T.
Mots-clés: a-SiN:H films
Sputtering
FTIR measurements
MIS structure
Date de publication: 2006
Editeur: Elsevier
Collection/Numéro: Superlattices and Microstructures/ Vol.40, Issues N°4–6 (2006);pp. 598-602
URI/URL: http://dlibrary.univ-boumerdes.dz:8080/handle/123456789/4575
ISSN: 0749-6036
Collection(s) :Publications Internationales

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